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> > > 반도체 웨이퍼 자동 위치 교정용 시스템<br> > - 802.11b/g Wireless LAN Communication.<br> > - 2M Camera, 1600 X 1200 pixel<br> > - 10 um(X,Y), 100um(Y) Resolution.<br> > - Weight 300g >
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